半导体含硅废水如何达标排放？作为5G反战后的新兴行业半导体得到了大力的发展，大大小小的工厂在全国各地建成，频发的污染问题也让半导体废水成了近些年环保新赛道。

一、含硅废水达标标准

半导体生产过程中会用大量化学物质和重金属，废水以含氟废水、含铜废水、含氨废水为主，水质整体复杂，污染物含量较高，对环境有较大污染。

怎样才算废水达标呢？根据半导体行业污染物排放标准，文件对废水中的重金属镉、铬、砷、铅、镍、银有明确标注排放浓度，氧化物、硫化物、氰化物、悬浮物、COD、BOD、氨氮、有机碳的日均值也做出明确规定。

二、含硅废水处理装置

通过分析半导体工厂排出的废水，我们了解到料液呈碱性，水中含硅量较高，高温条件下对金属材质有较强的化学腐蚀性。根据上述情况和半导体行业污染物排放标准，方案设计为综合工艺由除硅、浓缩两部分组成。

浓缩部分是回收资源和废水处理的关注点，因为高温蒸发物料存在腐蚀危险，所以选择了蒸发温度较低但效率高又节能的MVR蒸发技术，通过对蒸发产生的二次蒸汽进行升压升温二次利用，达到一个循循环稳定的蒸发情况，物料能在低温下稳定蒸发，不仅能减少热源消耗，接触面腐蚀问题还能减少含硅物料的结垢问题。

完成蒸发后的废水进行固液分离，得到的结晶体排出设备外，浓液继续返回处理装置中，蒸汽则冷凝成水收集再利用。

三、含硅废水处理装置优势

综合来说含硅废水处理设备能达到环保要求，回收的资源能在工厂内得到实际再利用，整套设备的性价比较高，配备自动控制系统，耐负荷、占地面积小、稳定性高、运行成本低工艺成熟且节能。

来源：MVR蒸发器厂家-青岛康景辉www.ok025.cn